价值投资研究报告摘要：
摘要：
投资建议。http://www.hibor.com.cn【慧博投研资讯】受益于关键内资产线扩产拉动以及技术不断取得新突破，国产设备市场需求将不断增大。http://www.hibor.com.cn（慧博投研资讯）推荐设备龙头中微公司(688012.SH)及北方华创（002371.SZ）。同时清洗设备龙头盛美半导体（ACMR.O）、芯源微（688037.SH）、沈阳拓荆、华海清科、北京屹唐以及上海微电子也受益产业发展。
关键的PVD设备主要包括硬掩膜Hard Mask PVD设备、铜互连CuBSPVD设备以及铝衬垫Al PADPVD设备三种。(1) Hard Mask PVD设备主要可实现硬掩膜低介电材料的沉积，在IC制造流程的前段(FEOL)和后段工艺(BEOL)中应用广泛。(2)CuBSPVD设备可以完成阻挡层和铜种籽层沉积，且市场规模最大占比约70%但国产化率最低，目前国产设备已经成功打破垄断。(3)Al PADPVD设备在晶圆制造最后一步使用，其在产线中占比较小，但是内资产线此类设备的国产化率较高。
PVD设备总需求都有望进一步提升。产线中PVD设备投资额占晶圆投资设备的10%。我们预估包括长江存储、华虹系等在内的9条内资产线PVD设备需求规模可在2020年达到80亿元左右（YOY70%），内资产线国产PVD设备需求规模有望从2019年的2.3亿元提升到5.6亿元。
PVD设备AMAT一家独大市占率超80%且过去一直垄断CuBSPVD市场，目前国内厂商CuBSPVD设备已经在存储产线打破垄断，未来潜在市场空间巨大。(1)存储器产线：北方华创开年成功中标长江存储3台CuBS(铜互连)PVD订单，成功打破AMAT垄断，成为世界上第二家掌握该技术的厂商，未来将随着产线扩产而持续渗透。(2)逻辑代工产线：逻辑芯片制造中对CuBSPVD需求量是存储器产线的4-5倍，达到月产能10万片预计需要超过40台CuBSPVD设备。目前北方华创导入进度良好，随着中芯国际、华虹系等持续扩产，国产CuBS设备潜在订单空间巨大。(3)我们根据产能规划，预计中芯国际、华虹系、合肥长鑫（一期）以及长江存储（一期）在实现达产前，对CuBSPVD设备市场需求规模总计超过40亿元。
风险提示。设备公司新产品开发及验证进度不及预期的风险。下游产线资本支出不及预期带来的风险。中美贸易摩擦的不确定性的风险。